盛美上海推出全新產品帶框晶圓清洗設備,升級先進封裝產品組合

2024-5-22 8:00:00
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    盛美半導體行業(ye)(ye)芯片(pian)(pian)芯片(pian)(pian)設施(武漢(han))控(kong)股(gu)股(gu)東較少廠家(下面(mian)全稱“盛美武漢(han)”)(科創板上市股(gu)標(biao)碼:688082),當(dang)做是一家為半導體行業(ye)(ye)芯片(pian)(pian)芯片(pian)(pian)前道和高(gao)(gao)級晶(jing)圓(yuan)(yuan)級芯片(pian)(pian)封(feng)(feng)裝類型應運作為晶(jing)圓(yuan)(yuan)工藝機(ji) 克服設計的(de)(de)(de)(de)(de)專業(ye)(ye)技(ji)能產生商(shang),于下面(mian)投(tou)入市場用(yong)來高(gao)(gao)級芯片(pian)(pian)封(feng)(feng)裝類型的(de)(de)(de)(de)(de)帶框晶(jing)圓(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)洗滌(di)設施。該設施可(ke)在脫粘(zhan)后(hou)的(de)(de)(de)(de)(de)的(de)(de)(de)(de)(de)洗滌(di)工作中更好的(de)(de)(de)(de)(de)洗滌(di)半導體行業(ye)(ye)芯片(pian)(pian)芯片(pian)(pian)晶(jing)圓(yuan)(yuan)。

    帶框晶圓(yuan)洗環保儀器的去創新相轉移催化劑收集機(ji)系(xi)統有正相關的區域環境與加工(gong)制造(zao)費效(xiao)(xiao)率(lv),該功效(xiao)(xiao)可(ke)(ke)滿足近100%的相轉移催化劑收集和過濾系(xi)統效(xiao)(xiao)用,繼而避免生孩(hai)子步驟中催化品容(rong)量。盛美濟南(nan)風雨同(tong)舟這家國內 集成型電線加工(gong)專(zhuan)業的,已(yi)完工(gong)男女雙方(fang)首(shou)臺協(xie)議環保儀器的裝(zhuang)和認可(ke)(ke)本(ben)職工(gong)作(zuo)。

    盛美東莞高管(guan)長(chang)王暉碩(shuo)士表(biao)達出來(lai):“盛美(mei)東莞用多的(de)服(fu)務業(ye)工作(zuo)經(jing)驗和(he)的(de)客的(de)聯系,在即統籌推進了一(yi)(yi)(yi)流(liu)封口的(de)一(yi)(yi)(yi)直(zhi)趨勢。公司想(xiang)必(bi),隨之(zhi)半導(dao)體器件服(fu)務業(ye)向一(yi)(yi)(yi)流(liu)封口和(he)后道三維立體模塊(kuai)化(hua)設(she)計(ji)構思改(gai)變,公司的(de)帶框(kuang)晶(jing)圓清潔工作(zuo)儀(yi)器也將進步(bu)驟引來各的(de)客群體心理。公司傾(qing)力于可一(yi)(yi)(yi)直(zhi)趨勢,為的(de)客提供數(shu)據可收廢容(rong)劑的(de)儀(yi)器,而使極(ji)大減少(shao)浪費(fei)糧食并控制(zhi)投(tou)入(ru)方(fang)式(shi)步(bu)驟中的(de)總都有投(tou)入(ru)。”
 

關于帶框晶圓清洗設備

    帶框晶圓清潔(jie)工(gong)(gong)作(zuo)的(de)主(zhu)設備配齊3個腔體(ti)(ti),順利通過(guo)(guo)高純凈度有(you)機萃取(qu)劑(ji)、MegPie有(you)機萃取(qu)劑(ji)、去鋁離子(zi)水、納米有(you)機萃取(qu)劑(ji)和(he)(he)異丙(bing)醇(chun) (IPA) 高壓(ya)噴嘴等應用(yong)設置提高多種性(xing)的(de)選(xuan)配,可(ke)接合應用(yong)各個加工(gong)(gong)過(guo)(guo)程。該(gai)的(de)主(zhu)設備還(huan)能(neng)在(zai)不同腔體(ti)(ti)中通時完(wan)成(cheng)任務清潔(jie)工(gong)(gong)作(zuo)和(he)(he)吹(chui)干(gan)加工(gong)(gong)過(guo)(guo)程,保證快速清潔(jie)工(gong)(gong)作(zuo)和(he)(he)吹(chui)干(gan);可(ke)提高85寸(cun)大和(he)(he)125寸(cun)大幾種選(xuan)配,適主(zhu)要用(yong)于于標晶圓和(he)(he)帶框晶圓。

    不僅如(ru)此,該(gai)環(huan)保機械(xie)可(ke)無逢治(zhi)療規定晶(jing)圓(yuan)和(he)帶框(kuang)晶(jing)圓(yuan),腔(qiang)體和(he)裝載的(de)(de)(de)容量(liang)端(duan)口設置的(de)(de)(de)配資可(ke)互相治(zhi)療兩種款(kuan)式款(kuan)式的(de)(de)(de)晶(jing)圓(yuan),確定靈(ling)活(huo)多變高效(xiao)率能(neng)的(de)(de)(de)做(zuo)意識。盛(sheng)美蘇州自研的(de)(de)(de)治(zhi)療工(gong)藝使(shi)該(gai)環(huan)保機械(xie)并能(neng)治(zhi)療薄(bo)厚值為1502um的(de)(de)(de)薄(bo)晶(jing)圓(yuan),在做(zuo)維(wei)護清(qing)潔的(de)(de)(de)過程 運(yun)用了(le)盛(sheng)漂亮(liang)的(de)(de)(de)Smart Megasonix®工(gong)藝(國(guo)家專(zhuan)利(li)號:ZL200910050834.2),可(ke)對(dui)正個晶(jing)圓(yuan)做(zuo)全面性且高質量(liang)傷(shang)做(zuo)維(wei)護清(qing)潔。該(gai)環(huan)保機械(xie)可(ke)高效(xiao)率能(neng)取除光(guang)刻(ke)膠,越發(fa)是(shi)邊(bian)部的(de)(de)(de)留(liu)物,事關(guan)做(zuo)維(wei)護清(qing)潔后(hou)的(de)(de)(de)晶(jing)圓(yuan)表(biao)面上(shang)滑(hua)潤無留(liu)。
 

技術優勢:

- 也可以開發(fa)的渦流吸盤將(jiang)晶圓表面(mian)破損的有機會降得更低,為(wei)極端分(fen)子的洗滌狀況下的精(jing)度等級設制(zhi)了新標;
- 進行盛美傷害已請求(qiu)實用(yong)新(xin)型(xing)的(de)放置(zhi)做法(實用(yong)新(xin)型(xing)請求(qiu)號(hao): 202310787637.9),保證 在穩定(ding)量分析(xi)扭(niu)動全過程中(zhong)處置(zhi)帶框晶(jing)圓時(shi)具好的(de)穩定(ding)量分析(xi)性(xing);
- 擁有出色的的防人體防靜電特點(dian),在(zai)機械自動化測試功能(neng)控制器(EFEM)和每位腔體功能(neng)控制器中安(an)全(quan)使用鋁離子棒(bang),并加入 DI-CO2 混器,在(zai)全(quan)加工環節(jie)環節(jie)中可(ke)呵護晶圓(yuan)不被受(shou)到(dao)人體防靜電應(ying)響。
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